二手 DNS / DAINIPPON SKW-629-BV #293808882 待售

DNS/DAINIPPON SKW-629-BV是为生产高精度半导体光刻应用而设计的高精度光刻设备。该系统有一个数字虹膜单元（DIS）和一个容纳大型基板的9英寸级，可用于高达50 nm线路和空间的应用。数字虹膜机（DIS）为光刻胶应用提供了高精度。它由两个部分组成：一个光源和一个控制单元.光源是一个独立的LED源,它与步进电动机耦合,以提供LED点从中心到目标抵抗点的高精度移动。控制单元从视觉工具收集目标位置数据,并将其转换为3D坐标,用于将LED点精确放置到抗蚀层中。这样可以精确覆盖光刻层上的图样。9英寸级支撑直径最大为4英寸、抗蚀层较大的基板。它还具有智能边缘检测资产,以确保对齐精度。此模型使用边缘轮廓信息、目标方向数据和全局照明参数来线性注册图层并消除任何遮挡或边缘错误。该设备还提供了一些安全功能。其中包括超压关闭、过度照明关闭和紧急电源关闭,以防止电压波动造成潜在损坏。它还内置了检测异常温度、短路和其他系统异常的监控系统。DNS SKW-629-BV单元旨在为广泛的应用提供高度精确和可重复的光刻结果。它的设计采用了高级功能,可确保高精度,并将损坏或故障的风险降至最低。适用于制造纳米电子器件、集成电路、MEMS器件和传感器等应用。