二手 DNS / DAINIPPON SKW-80B #293796128 待售
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DNS/DAINIPPON SKW-80B Photoresist Equipment是一个多功能系统,采用最新的先进技术和功能进行设计,在光电和热过程中提供最高性能。DNS SKW-80B Photoresist Unit是图像传输、光刻和其他光化学过程的行业标准。该机结合了DNS Screen Company的专有技术,包括专利抗蚀剂处理方法,以及我们先进的抗蚀剂处理平台,用于制造光子和微流体元件及电路的完整工艺解决方桉。DAINIPPON SKW-80B Photoresist Tool通过各种基材、高分辨率图像和先进的化学特性提供了卓越的抗蚀剂功能。该资产提供了优越的蚀刻效果,即使薄膜材料,和优越的蚀刻质量较薄的基材。多种无化学物质的风险可以达到最大射孔,亚衍射分辨率是可以实现的。SKW-80B光电抗蚀剂模型的特点是具有精确控制、最优化学分布和正流体接触反应的化学输送设备。该系统包括高效的能源转运站、热瞄准站、采样站和内置冷却选项。该装置还包括一个冷却室,允许较低的工艺温度和改进的热响应。DNS/DAINIPPON SKW-80B光刻机能够以高达1000晶圆/小时的吞吐量一次处理多达60个晶圆。它还支持背侧抗性应用以及同时处理抗性和基板,以提高产量并最大程度地降低风险。该工具还提供各种工艺诊断和数据记录选项,使高级化学、精确参数控制和更高的产量成为可能。DNS SKW-80B Photoresist Asset支持行业标准和专有的光刻材料,允许用户优化流程以满足其需求。该模型提供了与各种掩蔽工具、工具和材料的完全兼容性,从而能够开发定制的光刻胶处理功能。DAINIPPON SKW-80B Photoresists Equipment还提供各种支持和监控工具,一个开放的体系结构,可容纳特殊应用程序的其他组件,以及远程诊断功能,以提高操作效率。
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