二手 DNS / DAINIPPON SP-W813 #293643045 待售

DNS/DAINIPPON SP-W813是专门为生产半导体生产中使用的光掩模和晶片而设计的先进光刻设备。该系统利用光刻技术，这是在硅片上创建集成电路和其他器件的基本工艺。光刻涉及利用光和化学过程将图样转移到硅片上。此单元由几个组件组成,这些组件协同工作以在晶圆上创建所需的阵列。DNS SP-W813由一个光源、一个掩蔽单元、一个标线级、一个物镜、一个LED压电发生器、一个LED对准单元和一个光刻涂层机组成。光源为LED对准单元供电,该单元将LED精确定位在标线台上。然后将标线级装入具有所需阵列图像的二进制编码掩码。面罩然后用极紫外线（EUV）照亮，由LED压电发生器产生。然后，EUV光通过掩模进入涂有光刻胶的晶片。在此过程中,光将所需的图样传递到晶片上。最后，开发了光致抗蚀剂，使晶片的特定区域变成固化和硬化的材料。DAINIPPON SPW-813的光刻胶开发系统允许通过其计算机控制的紫外线曝光处理精确控制开发时间。光致抗蚀剂工具暴露在LED图样发生器发出的EUV光下，从而激活光致抗蚀剂的光酸发生器，使光致抗蚀剂溶解在远离指定区域的地方。SPW-813具有创建高精度和高质量晶片的众多功能。在开发光刻胶之后，DNS SPW-813结合了一种高分辨率成像资产，允许以最小的图像失真和粒度捕获和分析清晰的图像。该模型还提供了易于设置的参数，可以精确控制EUV排放，并提供了一种凹陷的光学设计，可最大限度地减少发热元件。最后,DAINIPPON SP-W813拥有自动化程度最低的生产设备,有助于缩短处理时间并提高吞吐量。总体而言，SP-W813光刻系统配备了多种功能和组件，以提供对光刻胶开发的精确控制、对EUV发射的精确控制和精确成像技术，使用户能够在晶片上创建质量最高的图像。DNS/DAINIPPON SPW-813具有这些有用的功能及其计算机控制的过程,是制造半导体生产中使用的精密光掩模和晶片的最先进的系统之一。