二手 DNS / DAINIPPON SS-80B #293658147 待售

DNS/DAINIPPON SS-80B是一种先进的光刻设备，用于在晶圆和半导体及其他微电子应用的电路上创建图样。该系统适用于多种基板尺寸,允许根据目标特定区域调整曝光场尺寸,并提供精确的对齐方式。该单元的核心部件是EUV Optics，它使用蓝宝石晶片将13.5nm波长的光引导到晶片上，用于成像源。EUV光学器件使用光束模式对准机（BPAS）,这是一种双光束对准工具,通过微调入射光束角度的可移动反射镜布置来发挥作用。这种BPAS资产在对准光束时允许高精度和准确性，从而便于复杂的模式生成。DNS SS-80B还集成了多种专业功能,以提高大规模生产的工艺速度和精度。通过先进的数据分析和处理，该模型能够优化多域曝光参数的使用，实现更高的光敏性能。此外，该设备提供单发辐照能力，通过减少特定区域的照射次数，大大缩短了制图时间。在安全性方面，系统有几个保护使用者的功能，例如一个液冷激光外壳以防止激光过热，以及一个幻灯片扫描仪功能，可以快速检测任何光束在指定区域以外发射。总体而言,DAINIPPON SS-80B是一个先进的光阻装置,具有激光冷却、单发照射和精确阵列等多种功能,可满足当今快速发展的半导体行业的需求。