二手 DNS / DAINIPPON SS-W60A-AV #9314198 待售

DNS/DAINIPPON SS-W60A-AV是一种光刻设备，用于光刻，在半导体晶片上产生准确可靠的电路模式。它提供了一系列功能以确保最佳成像性能,包括提供高分辨率图像和高通量的中紫外线（248 nm）激光源。此外，它还配备了高精度的HeNe激光曝光系统，用于在曝光期间将曝光场与晶圆位置对准。DNS SS-W60A-AV使用各种光学和光掩码来创建高精度的抵抗材料模式。它利用图像阵列扫描仪同步激光曝光机械性，确保精确的图样呈现。扫描仪配有NA=0.5的大功率镜头，提供重迭的图桉布局。这样可以确保可以精确地重迭模式,以创建更复杂的模式。DAINIPPON SS-W60A-AV还利用了多种成像技术，包括RIE、PRT、SLIT和平板成像。RIE是一种反应性离子蚀刻工艺，用于蚀刻基板上的层以产生金属电路图样。PRT是一种光致抗蚀剂工艺，用于通过在不同角度对晶片表面进行精细成像来精确控制抗蚀剂材料。SLIT是一种光刻技术，用于缩小粒径以创建较小的特征，而平板成像是一种更传统的简单图样成像技术。该单元还包括一个高精度级和广泛的其他功能，以协助精确对准和成像。这些特性包括50 nm精度级运动、倾斜补偿、防爬行系统和自动快门操作机。这些特性确保了图像的精确重迭，抵抗材料的精确控制，并且曝光场与晶圆的对准是精确的。综上所述，SS-W60A-AV是一种高度先进的光刻工具，用于在半导体晶片上创建高度精确和可靠的图样。它利用多种成像技术,包括RIE、PRT、SLIT和平板成像,以及许多其他功能来确保最高成像性能和准确性。