二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #293809354 待售

DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SS-W80A-AR
ID: 293809354
晶圆大小: 8"
Wafer scrubber, 8" 2F/2B.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR是一种晶圆和掩模洗涤器,旨在提供可靠、高效和可重复的晶圆清洗过程。它能够处理8英寸(200毫米)和10英寸(250毫米)晶片和掩模,最大吞吐量为每小时200-250个晶片(或相应数量的掩模)。DNS SSW80A-AR是一种工艺工具,是一种具有多种特性的自动洗涤器,适合大批量生产。该装置包括一个先进的空气漂浮设备,用于轻柔、均匀的晶片和掩模处理,以及一个额外的真空系统,以提高除粒效率。洗涤器还设有一个自动密封装置和一个综合化学回收机,旨在减少使用的清洁化学品的数量。该装置的清洁过程利用高流体压力和化学反应清洗作用。可调喷头有利于清洁化学物质的分布,而刷架提供与晶片表面的直接洗涤接触。该装置设计用于运行各种工艺化学,包括中性、碱性、酸性和多用途溶液。DAINIPPON SSW-80A-AR还配备了集成电导率监测器,以确保适当的清洁控制和工具卫生。该监控器通过同时监测化学成分和体积水平,有助于保持优化的化学清洁溶液。监测和控制机制的结合有助于确保可重复的清洁结果。由重型不锈钢和其他耐用材料制造,洗涤器提供多年的可靠使用和维护免费操作。该单元被构造为在1Cleanroom级环境下运行,并配备了保护操作员的各种安全功能。SSW-80A-AR晶片和蒙版洗涤器使用户能够轻松高效地清洁两种基板上的多层图样层。它是大批量生产的理想选择,可以提供清洁的效果,保持整个产量高。
还没有评论