二手 DOMINUS Opticoat ST30i #9218145 待售

DOMINUS Opticoat ST30i是为半导体制造而设计的下一代光阻设备。在广泛的应用中,它提供了优于传统光刻系统的性能特性。它是一个非常先进、经济高效的解决方桉,可提供出色的均匀性和均匀的线宽。Opticoat ST30i是一种高性能、低温的抗烘烤剂，含有标准的化学扩增树脂和化学改性树脂。标准树脂提供了优良的基材附着力和线形，同时保持尽可能小的线宽，以提高光刻精度。化学改性树脂提供了比传统抗蚀剂更好的均匀性，提供了改进的光刻产量和装置特性。该系统还配备了一系列抗蚀剂配方能力，包括抗反射配方、接触蚀刻面膜、抗颗粒物过滤和较厚的抗蚀剂。这种灵活性使其适合各种工艺和平版印刷需要。此外，其喷涂设备和可移动模块提供了卓越的工艺能力和可靠性。DOMINUS Opticoat ST30i允许改善线宽和蚀刻轮廓的均匀性和关键尺寸控制。其广泛的工艺窗口和改进的注册准确度允许更大的工艺稳定性和可重复性。其低温烘烤消除了对高温烘烤电路的需求，从而大大节省了成本。这种抗蚀剂单元还提供了比传统抗蚀剂广泛的工艺优势，如改进的光学、热和粘附性能。其低温烘烤显着降低能耗和热冲击，而其改进的光学性能允许较低的光学配准误差和改进的聚焦控制深度。此外，其改进的耐化学性和附着力为抗蚀层提供了更好的长期性能，使设备的运行时间更长。Opticoat ST30i是一款先进的低成本光刻机,可确保卓越的性能、可靠性和成本节约。其优越的均匀性和均匀的线宽提供了优越的光刻产量和器件特性。它还提供了广泛的工艺优势，包括改进的光学、热和粘附性能。这使得DOMINUS Opticoat ST30i半导体制造的理想选择。