二手 EATON 6000 XL #9099870 待售

EATON 6000 XL
製造商
EATON
模型
6000 XL
ID: 9099870
优质的: 1987
Coater / Developer system (3) Tracks 1987 vintage.
EATON 6000 XL是为大体积精密光刻和薄膜沉积应用而设计的光刻设备。它是一个完全自动化、经济高效的平台,能够生产日益复杂的微观结构,如集成电路、光电子和数据存储介质。该系统获得专利的光刻胶技术利用紫外线(UV)光在感光基板上曝光图样,然后开发出纳米级结构。6000 XL利用精密光刻和薄膜沉积技术,这是一种精确的工艺,可通过真空装置将由化学成分组成的薄聚物层沉积到基板上。这一过程允许用户精确操纵聚合物层的厚度、组成和地形,并在纳米级创建结构。光刻图样的质量取决于曝光和开发过程的吞吐量和精度。机器中使用的光致抗蚀剂材料及其层被设计为提供出色的抗蚀剂均匀性、异常低的排气和高分辨率。该工具的一个高级功能是高性能成像资产,可实现高分辨率成像。再者,该型号的专利光刻胶配方被设计为与多种涂层兼容,如环氧树脂、聚酰亚胺、BCB、多晶硅等材料。该设备可达到的薄膜厚度范围从50 nm到1 µm。该系统设计用于使用各种各样的基板,如硅、印刷电路板,甚至纺织品。它还易于操作,它使用户能够快速设置和优化设备,而无需特殊软件或专业知识。使用者可以轻易控制曝光剂量、波长和曝光模式。此外,该机还能够对敏感基板进行双面加工和支持批处理。总体而言,EATON 6000 XL是一种用于工业和电子制造应用的可靠、经济高效的光刻胶解决方桉。该工具使用户能够在各种基板上精确、精确地创建高度复杂的纳米级结构。其先进的成像资产和光敏材料被设计为确保高分辨率、均匀性和低除气。
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