二手 EATON XL622B #9180693 待售

EATON XL622B是为各种单晶半导体基板的晶片级光刻涂层而设计的高性能、高精度光刻设备。该系统的构建是为了在受控环境中提供精确和可重复性。XL622B利用液体级监测单位帮助用户获得具有可重复结果的高质量涂料。机器包含蒸气分散器、液位监控器、抗热块和电阻测量装置。这些组件协同工作，以创建均匀、一致和可重复的涂层厚度和光刻胶跨基板的图案。蒸气分散器向基板输送精确、反应灵敏的光敏蒸气流。这确保了光刻胶在光刻胶层中被传送到所需的区域，而没有较高的附着区域或较低的空隙口袋。液位监视器通过不断测量光刻胶的厚度来帮助用户保持一致的涂层厚度。电阻测量装置随后在涂层过程中监视和记录光刻胶的电阻。这为用户提供了有关应用光刻胶层的整体质量的信息。抗蚀剂加热块通过使光致抗蚀剂在晶片上均匀且可重复加热，进一步有助于光致抗蚀剂的均匀传递。具有对光刻胶层进行精确、可重复测量的能力，结合一致的抗蚀剂蒸气的精确输送和光刻胶层的均匀加热，使得EATON XL622B能够创造出高质量的涂层，具有优异的重复效果。这允许用户创建质量高、变化最小的一致晶圆级光刻胶层。