二手 EEJA / ELECTROPLATING ENGINEERS OF JAPAN Posfer-S4 #9099252 待售

ID: 9099252
晶圆大小: 6"
Linear gold plating system, 6" Convertible to 8" Hardware: Cub4 storage.
EEJA Post-S4是由日本电镀工程师(ELECTROPLATING ENGINEERS OF JAPAN)开发的光阻设备。该系统设计用于电镀和化学工艺操作,提供可靠、准确的光刻效果。该单元提供两种独立的光刻胶曝光装置,用于精确控制曝光时间和均匀性,使其适合各种光刻胶工艺。这台机器设计用于单面和双面的光刻过程,并允许实现高公差和高精度的光刻过程。为此,可以提供精确的温湿度控制、独立的压力调节工具,以及曝光装置的精确定位。EEJA/ELECTROPLATING ENGINEERS OF JAPAN Post-S4光致抗蚀剂资产能够实现可重复和均匀的光致抗蚀剂结果,因为使用的光源具有统一的曝光控制和在线校准的扫描补偿。这种均匀性是通过使用具有30米间距线μ光源的相片传感器来维持的,以便准确地检测和控制吸收率。该模型设计用于处理各种基板,从需要高度清晰度和分辨率的基板到需要最小基板改动的基板。此外,它还能够轻松控制光刻胶的图样尺寸和密度,并提供一系列的曝光模式来满足光刻胶工艺的特定需求。EEJA Post-S4光致抗蚀剂设备能够加工各种基材,包括硅、玻璃和金属。它确保了精确的光刻效果,最小的基板改变和污染,使其成为精确,高公差应用的理想选择。再者,它的自动化系统设计使得它可以方便地连接到各种制造环境和系统,从而为用户提供高效的生产单元。
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