二手 ELS TECHNOLOGY ELS-306MA #9059475 待售

ELS TECHNOLOGY ELS-306MA "Desmear Equipment"是由领先的光阻显影剂开发商ELS TECHNOLOGY设计的光阻系统。光敏材料是一种用于半导体制造的光敏材料，用于提供图样定义。ELS-306MA Desmear Unit是一台三合一机器,具有烘烤、曝光和开发等综合功能,可作为光刻胶生产的综合解决方桉。该工具具有高度集成的单一工艺室,可实现最佳集成和节省空间。该工艺室是为适应光刻工艺而量身定制的，并提供了出色的处理能力，如负载锁定技术和标准晶圆处理基板达200毫米。加工室还具有快速烘烤时间，提供1-2分钟的范围内烘烤样品。此外，该腔室还具有现场光监测资产和集成衍射光栅，能够消除参数不精确造成的线宽变化和质量问题。ELS TECHNOLOGY ELS-306MA还支持广泛的曝光工具选项，如Quadrascan、各种激光标记源和EB Resist阵列。该机器由功能强大的软件包支持,能够轻松设置和定制食谱。这包括易于使用的图形用户界面、集成的批处理功能,以及针对50多个流程的预装配方。此外,ELS-306MA Desmear模型具有出色的上行时间和可靠性,可确保连续且无问题的运行。设备具有超压防护、热监测、超流预防等综合安全功能。它还具有自我诊断功能和集成的流程跟踪功能,以便于监控流程。最后但并非最不重要的一点是,ELS TECHNOLOGY ELS-306MA凭借其集成的多功能、快速的处理速度和可靠的性能,提供了卓越的性价比。紧凑的设计和集成的功能也非常适合在有限的空间内生产,这意味着不需要额外的装配或布线。