二手 ELS TECHNOLOGY ELS 37604FA #9161434 待售
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ELS TECHNOLOGY ELS 37604FA是一种光阻设备,旨在使高质量的电子和微电路得以发展。它是一种干燥的、基于薄膜的薄膜光敏电阻系统,特别适用于需要低剂量曝光和极致性能的光刻工艺。该抗蚀剂单元利用高性能喹二嗪(HPR)化学,有效实现低剂量暴露的高分辨率特征。这是通过利用高效的散装化学制膜成像和低温工艺性能来实现的。ELS 37604FA中的HPR化学特性使得它能够达到最小特征尺寸,比任何其他同类机器都要小。ELS TECHNOLOGY ELS 37604FA抵抗工具在暴露于紫外线下时,会发生溶解度比增强。这增强了薄膜抗蚀层的暴露部分和未暴露部分之间的对比度。此增强功能使抗蚀剂具有出色的灵敏度,可提高成像清晰度和特征分辨率。ELS 37604FA在广泛的标准光刻工艺中表现出极好的工艺稳定性,因为它具有低固化温度和抵抗长时间烘烤的影响。此外,薄膜光阻资产具有较高的蚀刻阻力和优异的附着力,有助于提高整体器件的产量和可靠性。在材料组成方面,ELS TECHNOLOGY ELS 37604FA有一种聚合物修饰化学,含有一种先进的喹二氮化物光活性成分。这使得它非常适合复制极其复杂和复杂的电路模式,并且模型提供的改进的分辨率有助于创建更高效的产品。ELS 37604FA抵抗设备适用于各种不同的电子产品,从印刷电路板到MEMS和传感器。它在广泛的平版印刷过程中的稳定性确保了每次设备的可靠和高质量的结果。此外,该系统提供了一种非常经济高效的替代其他光刻材料的方法,使其成为寻求可靠和经济高效解决方桉的用户的绝佳选择。
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