二手 ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #293630295 待售

ELS TECHNOLOGY的ELS Technology ELS3604FA是为光电器件制造而设计的先进光刻设备.该系统由一个光刻工作站、一个掩模对准器和一个完整集成单元中的光刻装置组成。光刻工作站包括高性能扫描仪、固定成像结构和专有的同轴微透镜阵列,该阵列提供精确控制的光场,使复杂的设备特性能够以亚微米特性尺寸和分辨率进行打印。扫描单元可确保快速曝光周期,并配备自动聚焦校准机。该工具的掩模对齐器提供卓越的图像质量,并通过传统的掩模介质和先进的成像技术（如MOEM（微光机电机械）和MAEM（微光对齐机电机械）实现高产量的生产。掩模对齐器允许对掩模和基板进行高度精确的对齐，并且可以调整到几纳米以下的分辨率。该资产的光致抗蚀剂单元具有用于光照射的主动HeNe激光器，可实现高达200 nm的高分辨率光刻，并在纳米尺度上提供卓越的可靠性和可重复性。该装置可加工多种光刻胶，如晶片上的干膜、用于快速显影的化学和热敏剂，以及用于与CTO（陶瓷到金属）密封相容的高温蚀刻剂。ELS3604FA光刻模型集成了一个高性能光刻工作站、一个精确的掩模对准器和一个可靠的光刻单元在一个完整的单元中-为光电器件的制造提供了一个非常有能力和成本效益的解决方桉。ELS TECHNOLOGY凭借其高分辨率的成像、卓越的可靠性和可重复性以及多用途的抗性处理能力,ELS3604FA为用户提供了全面的生产解决方桉。