二手 ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #9156774 待售

ELS TECHNOLOGY ELS3604FA光刻设备是用于光刻工艺的最先进的系统。该装置适用于细线IC器件制造、小面积大面积金属化和钝化工艺等多种应用。本机具有四个光学通道和四个独立的控制系统，可以独立控制曝光功率、曝光时间和聚焦位置等曝光参数。该工具还具有4x4激光级、4通道曝光头和垂直集成成像资产。ELS3604FA具有完整的高清分辨率和高达1500倍的各种放大倍数。它可以达到高达1微米的曝光分辨率和长达30分钟的曝光时间。它还有两个"M1"和"M2"激光源，波长分别为532nm和405nm，可以在加法和减法曝光模式下运行。该模型还采用了液基光敏涂层设备，因此涂层可以量身定制，以适应各种不同的基板和应用。ELS TECHNOLOGY ELS3604FA具有很高的准确性和可重复性。它的机动化阶段和自动化系统确保了可重复和准确的结果,从而实现了更高效的吞吐量和质量控制。此外,其内置的视觉单元可确保快速准确地进行对齐和临界维度检查,从而提高工作效率。该机还具有几个高级功能，如能够产生连续的曝光场和为更大的底物重迭的多个曝光场，增加焦点深度，以及可以提供精确控制曝光模式的"分子光掩模"功能。总之，ELS3604FA光刻工具是一种先进的、最先进的资产，适用于许多光刻工艺。它具有自动化和精确的功能,可实现高效和准确的处理,确保可重复和高质量的结果。