二手 ENTEGRIS FOUP #9392095 待售

ENTEGRIS FOUP是一种用于高分辨率集成电路（IC）制造的先进光阻设备。该系统是一种多功能工具,用于管理、跟踪和检查制造过程的前端。FOUP单元设计为光刻应用的通用解决方桉,允许客户管理用于光刻的设备和工艺。ENTEGRIS FOUP机具有几个优化光刻工艺的功能，包括先进的端口技术设计和污染控制。它的端口设计允许用户在工具和机器之间轻松传输晶片，并提供高速轨道控制，在区域之间精确移动晶片。这种设计还可以实现先进的污染控制,确保始终清洁晶片。FOUP工具的所有组件都是专门为光刻胶应用而设计的。资产包括一个高度可定制的对接盒式磁带、几个运输和装载导轨以及晶片托盘。对接卡带和传输模式高度模块化，使用户可以轻松地将新工具整合到他们的整体过程中。晶片托盘提供了一个封闭的环境，特别适合光刻应用。ENTEGRIS FOUP设备还包括一个功能强大的晶圆管理软件，为用户提供对其光刻系统的完全控制。此软件允许用户跟踪和管理晶片负载,将任务分配给特定的工具,以及自动化工具之间的传输移动。此外，该软件还提供晶圆检测的高级工具，如故障分析和光刻胶层的精确测量。FOUP单元是满足当前和未来光刻需求的可靠工具。它具有强大的设计、精确的控制和高级管理工具,以确保产品的质量始终如一。通过使用机器的端口设计、污染控制功能和晶圆管理软件,客户可以确保其光刻胶应用程序尽可能高效地运行。