二手 ESA SRD-3000 #9285370 待售
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ESA SRD-3000光刻设备是用于制造现代电子设备的先进光刻系统.具体来说,这一单元使用了一种称为光刻胶的阻光材料,它由聚合物基体和光敏化学物质组成,用来生产电路印刷所需的极薄的金属膜层。使用自旋涂层工艺将光致抗蚀剂材料应用于基板。这个过程涉及一个自旋涂层,这是一个自动化的机器,当以恒定的速度旋转时,用于在基板上均匀涂层。自旋涂层将作为液体聚合物和感光化学物质溶液的光致抗蚀剂应用于基材。然后,材料在干燥时慢慢变硬.一旦使用了光致抗蚀剂,基板就会被暴露在一种光的图样上(这是一个称为成像的过程),以激活光致抗蚀剂内的感光化学物质。成像步骤由一台激光成像机管理,该成像机与SRD-3000工具结合在一起。此资产使用激光器将图像精确投影到光刻胶上。光照的强度和持续时间将决定光致抗蚀剂的哪些部分将被硬化,哪些部分保持可溶性。最后,剩下的光致抗蚀剂(未暴露于光的部分)再被冲走,露出基板上的金属线图桉。剩余的光致抗蚀剂层充当绝缘层,在进一步的处理步骤(如蚀刻、电镀和播放磁带附着)中保护下面的电路和其下的金属层。总之,ESA SRD-3000光刻胶模型是一种高度先进的光刻设备,它允许在基板上创建薄金属线,从而能够生产高质量的现代电子产品。该系统利用激光器将光图样精确投射到光刻胶上,然后激活光敏化学物质使光刻胶的特定区域变硬。剩余的光致抗蚀剂被冲走后,金属线条的图样仍然清晰可见,可用于进一步的生产过程。
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