二手 EVATEC Solaris S380 #9360695 待售

EVATEC Solaris S380是一种先进的光刻系统,采用光刻技术进行纳米光学.它是用于研究和开发的高分辨率成像工作站,或专注于最新、最苛刻的技术的生产。它结合了曝光工具、高精度步进电机、三轴工作站、检验站和一系列软件功能，在晶圆或基板上创建和复制特征。Solaris S380能够暴露一系列的光致抗蚀剂，从传统的正负抗蚀剂到先进的特殊应用。对于直接写入应用程序,它的不同曝光时间小于1秒钟,对于完整映像曝光,它的曝光时间不超过60秒。因此，它适用于广泛的光子应用，如光电、光子器件、光刻电路板等。EVATEC Solaris S380的核心是其高性能的数字光处理器。它每秒处理多达8M个像素，对感光材料具有非常高精度的数字图像控制。与普通的数字光处理（DLP）系统相比,它的分辨率高达十倍,因此在同一视场中可以进行更详细的阵列设计。此外,即使在极低的曝光水平下,它也具有可靠的对齐功能,因此每次都可以精确地制作图样。高精度步进电动机能够快速、精确地登记晶片的颗粒和特征对准。它还具有高性能扫描机构，以平滑无声的动作移动曝光头，同时保持高精度和重复性。该系统由易于使用的用户界面控制，以帮助操作员获得一致的完美结果。它有多种穿孔工具来确定理想暴露的参数。高级软件功能可用于分析抗蚀剂参数。总体而言,Solaris S380是一个可靠可靠的光刻系统,为研究人员和制造商提供高效、高精度的成像解决方桉。它能够产生最复杂和详细的3D模式，从而使其成为研究光子学、光电子学和其他领域的生产任务的理想工具。