二手 EVATEC Solaris S380 #9390765 待售
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EVATEC Solaris S380是一种先进的光刻涂层设备,专为光刻材料的精密控制和精密沉积而设计。该S380结合了高可用性、低拥有成本和出色的控制功能。S380系统基于模块化设计,由具有可选外围设备模块的基本单元组成,允许用户配置单元以满足其精确要求。S380机器能够沉积多达五层的光敏材料,每一层都有独立的控制和工艺条件。该工具提供了多种沉积技术选择,包括旋转涂层、喷涂涂层和气动剪切涂层。该S380是为可重复性而设计的,能够保证在多种基板和多层堆栈上的光刻胶特性的重复性。该S380具有多项标准功能,包括符合人体工程学的触摸屏用户界面、低维护电子设备、高级工艺自动化和自动基板尺寸检测。创新的"智能"控制资产可确保一致的性能,而与工艺条件或基材的变化无关。故障诊断和预后确保最大正常运行时间和低拥有成本。该S380还提供了一系列选项,以允许集成到其他生产系统或完成闭环过程控制。可以选择远程通信系统、零件跟踪、机器视觉、激光干涉仪和喷雾模式分析,以便对生产和工艺能力进行卓越的监控。总之,Solaris S380是一种先进可靠的光刻涂层模型,为精确的沉积应用提供了卓越的测量和控制能力。设备具有多种功能,包括过程自动化、性能优化、可升级系统、远程监控和自动基板尺寸检测。有了这些特性,用户无论工艺条件或基板的变化如何,都可以轻松地处理可重复的光刻胶层,使其成为一个极具成本效益和可靠性的系统。
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