二手 EVG / EV GROUP 101 #293823918 待售

EVG/EV GROUP 101是一种专业的光刻设备,可在集成电路（IC）制造和光学存储光盘（OSD）等广泛的应用中实现精确、高精度的光刻处理。光致抗蚀剂系统在光刻中用于将图桉从遮罩或标线转移到基板或工件上。这通常是在薄膜沉积、物理气相沉积、光学光刻和离子束光刻中完成的。EVG 101光致抗蚀剂系统的特点是集成了一个快速、易于处理的开发单元，以及一个最多有四个叶片的光学机器。它具有用于快速图像传输的双腔曝光工具；为方便基板进入而设计的开放式底板；以及低振动真空卡盘、水平和垂直对准、高精度滑块等先进元件。此外,资产还提供多种功能,旨在最大程度地提高用户的工作效率。EV GROUP 101光刻胶模型高度自动化，并配有一系列内置的软件工具，用于简单高效的作业管理。该设备还支持多种光刻胶图桉，包括子图桉和缝制。其集成的清洗系统有助于抗蚀剂的处理，而其高速基板转移单元则使基板的快速装卸能够快速周转。这样可确保作业设置的最大效率。该机还包括一个模块化的颗粒漏斗工具，以尽量减少颗粒污染。这有助于保护细腻的抗蚀剂阵列在处理过程中免受损坏,还有助于最大限度地提高产量并最大程度地减少停机时间。此外,该资产还提供内置的触摸屏诊断程序,可快速轻松地进行故障排除。101型光刻胶具有长期、高产量的性能,是专业IC制造和OSD产品制造的理想选择。