二手 EVG / EV GROUP 101 #9015368 待售
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ID: 9015368
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
Spray coater, 8"
Air pressure: 6-10 bar / 87-145 psi
Vacuum: <100 mbar / 76 Torr abs
Nitrogen: 6-10 bar / 87-145 psi
Exhaust: 1 x 180 m^3/h, 1 x 400 m^3/h
Power: 2 kW
Fumex FA1:
230 V, 1 Phase, 60 Hz, 2.9 A
Fuse: 5 A
2003 vintage.
EVG/EV GROUP 101是一种光刻设备,是一套专门用于制造电子元件的工具和工艺。这种光致抗蚀剂系统的工作原理是有选择地将感光材料暴露在光束或电子束辐射下,以便形成一层有图桉化的材料。然后,该层可用于创建各种电子元件,通常在微观尺度上,如集成电路芯片。光致抗蚀剂单元通常由一系列不同的工具和组件组成,如成像工具、显影剂、光源以及对这些过程的严格控制。成像工具允许用户在感光材料的表面上创建详细的图样。显影剂然后将所需的图样扩散到材料中,光源用于激活敏感材料,从而允许图样传递。EVG 101机器特别提供了比同类系统更高的精度和分辨率。这种精度和分辨率是通过使用先进的精密光学阵列实现的,该阵列既提供高分辨率,又提供良好的聚焦深度。EV GROUP 101工具还具有广泛的软件功能,允许用户快速修改自己的设计,以满足所讨论应用程序的要求。这样可以在制造过程中节省大量时间,同时还可以确保生成的组件质量最高。101光敏资产可用于创建广泛的电子元件,包括微芯片、集成电路、半导体等等。此外,模型允许一定程度的灵活性和定制,允许用户定制他们的设计,以满足他们的应用程序的具体要求。EVG/EV GROUP 101光刻设备具有卓越的精确度、分辨率和软件特性,是现有最先进、最可靠的光刻系统之一。
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