二手 EVG / EV GROUP 105 #9197310 待售

EVG/EV GROUP 105是一种为工业用途而设计的光阻设备。它是一个半自动化系统，利用先进的光学技术和材料科学，为先进的光刻应用提供可靠和高度先进的光刻工具。该单元常用于半导体工业中，用于抗加工、基板掩蔽和图样化。EVG 105利用最先进的照相面罩，创造出精确精确的光刻图桉。利用线性二极管阵列和优化的光投影角，大大提高了图样质量。此外,该机器能够在单个过程中对多层进行阵列设计,从而大大减少了处理时间和成本。EV GROUP 105采用两板工具,可灵活可靠地处理各种抗蚀剂。顶板是半透明的，允许一个图桉从面膜精确转移到抗蚀膜。然后将基板放置在底板上，并施加压力以确保均匀分布和精确的图样传递。这项资产还有一个外部4倍显微镜照相机，能够在曝光过程中提高对准精度。该型号具有很高的可配置性，并具有广泛的软件选项，以适应各种要求。光学打印功能支持从15 nm线宽到至少0.25 um特征尺寸的各种薄膜厚度。设备还与各大供应商的多种抗性材料兼容。集成、用户友好的GUI可实现简单直观的操作。105旨在提高生产吞吐量和质量,同时降低工艺成本。该系统具有高可重复性、准确性和吞吐量,非常适合高产量的行业。该设备还考虑到维护和可维护性,设计为易于维修,以防止停机。总体而言，EVG/EV GROUP 105是一款可靠、先进的光刻机。它结合了创新的光学和材料科学技术，以方便和高效的光刻模式与无与伦比的重复性和吞吐量。该工具旨在满足最高的生产量和质量要求,并为光刻制图提供可靠的解决方桉。