二手 EVG / EV GROUP 120 #293590417 待售

EVG/EV GROUP 120是一种设计用于纳米光刻和晶圆加工的光刻设备。它使用光致抗蚀剂工艺在晶圆表面形成纳米级图桉。该系统采用低维护、低功耗、高效率的抗涂层晶片。集成过程控制单元和成像机提供高分辨率成像、纳米级定位和自动化处理。EVG 120以涂有光致抗蚀剂的晶片开始。光致抗蚀剂是一种对光敏感的材料，当暴露于特定波长和强度的光时，光致抗蚀剂会硬化。通过步进重复的光致抗蚀剂过程，晶片表面随着光致抗蚀剂的硬化而形成图样。该过程由控制激光源曝光的过程控制工具控制，从而在晶圆上创建所需的图样。集成成像资产采用高分辨率光学显微镜和先进成像技术，如扫描电子显微镜和原子力显微镜，对晶片进行缺陷检测，确保晶片经过精确处理。EV GROUP 120还具有自动对准和处理模型,可实现图样化光刻胶工艺的精确和可重复性能。自动化设备还减少了光刻胶处理过程中出现人为错误的风险，允许在最终结果变化最小的情况下进行一致的处理。120还包括一个创新的安全系统,它使用传感器和硬件设备的组合来监视环境,并在任何处理条件超出指定参数时向操作员发出警报。这有助于降低机器和人员的潜在风险。最后，EVG/EV GROUP 120是一种设计用于纳米光刻和晶圆加工的光刻光刻装置。它使用光致抗蚀剂工艺在晶圆表面形成纳米级图桉。集成的过程控制机和成像工具提供高分辨率成像、纳米级定位和自动化处理。资产还具有自动对齐和处理模式以及有助于最大限度减少与流程相关的任何潜在风险的创新安全设备。