二手 EVG / EV GROUP 120 #293595254 待售

EVG/EV GROUP 120光刻设备是一种模块化的交钥匙光刻工具，为先进的纳米制造应用提供先进的精密功率。该工具具有一个场可更换的高真空蒸发器单元，最多有12个独立的基板和最多两个平行的光学元件。其模块化功能可实现高精度处理和强大的阵列设计功能。EVG 120系统使用先进的光学和物理元件，提供了广泛的光刻选项，包括正负光抗蚀剂显影剂和高分辨率光掩模。它允许使用多种面膜材料和基材，包括亚微米级光学面膜和包括硅、玻璃、蓝宝石、石英、金属和有机材料在内的一系列基材。该单元利用全并行处理，使基板快速旋转和先进的阴影。该机器还提供高吞吐量优化,支持用户定义的过程参数、自动定位和高级自动化。该工具还包括高级用户定义的校准，允许精确和可重复的结果。这一资产还提供先进的控制能力和监测系统，包括数据记录，从而能够改进流程控制和质量保证。EV GROUP 120先进、用户友好的图形用户界面提供了对设置、过程参数控制和实时监控的快速访问。该模型还允许配方数据集的开发以及记忆中存储和回忆配方的能力。设备的设计允许集成其他过程模块，为系统带来多种功能。120光刻装置具有先进的广泛光刻能力，是研发、生产和原型制作任务的理想解决方桉。该机提供精确的工艺控制和高通量优化，非常适合先进的纳米制造应用。