二手 EVG / EV GROUP 120 #293830309 待售

EVG/EV GROUP 120是一种来自EVG的光阻设备，常用于纳米级器件的晶圆级处理。非常适合先进的晶圆级封装、3D-integration、MEMS/MOEMS、微流体、光掩模处理等相关应用。EVG 120具有自上而下的12英寸晶圆曝光系统，场大小为180 mm x 300 mm。它可以加工直径达200毫米的石英铬面膜。该单元控制投影光学器件、放大倍率和成像方向的位置，提供最佳的灵活性和准确性。投影光学器件的传输速率大于85%,因此能够解析低对比度特征尺寸为0.3微米的结构。该机器还能够生产高通量和经济高效的设备制造，因为它能够抵抗与在高功率环境下的暴露相关的热应力，并且排气非常低。因此,所提供的成像分辨率和吞吐量时间比同类系统大得多,因此非常适合大批量生产。此外,该工具还具有多种内置功能,使其具有高度可靠和用户友好的特点。除了复杂的控制系统外，EV GROUP 120还具有高度敏感的传感器，以确保精确的对准和晶圆重复率。资产还使用模型级掩码对齐层,可确保x和y方向的图像一致,从而消除无法纠正的曝光错误。该设备的设计目的是使石英掩模的最小二向色比保持在8，从而确保对甚至亚微米结构的清晰成像。除此之外，该系统还具有清洁室友好型操作和无CDA操作。这基本上消除了有害化学品再循环的需要。120是目前来自EV GROUP的最可靠、最先进的光阻系统之一,为晶圆级应用提供了最大的分辨率、准确性、吞吐量和成本效益。