二手 EVG / EV GROUP 120 #9229820 待售

EVG/EV GROUP 120是一种光刻设备，用于创建微观和纳米级特性，用于制造集成电路和其他先进、高精度的应用。配备超高精度光学台、高精度电动级和专利高质量分辨率成像技术。该系统使用平版印刷工艺来创建纳米结构。光致抗蚀剂是一种光敏材料，在薄层中施加到基板上。光致抗蚀剂层暴露于光，这会引起化学反应，并允许通过选择性蚀刻层的截面来创建图样。重复该过程,直到形成所需的模式。EVG 120具有微米精密正交电动级的模式对准。该单元允许基板与光学表进行极其精确和可重复的对齐，这对于精确的模式对齐是必不可少的。此外，它还拥有一台获得专利的成像机，该机可产生高达100纳米的特性，每个区域的噪声水平为≤0.1nm RMS。这允许用户以非常低的缺陷率生成高度准确和详细的图像。该工具与多种光刻胶兼容，包括正音、负音和二进制抗蚀剂。适用于广泛的应用，包括微电子、MEMS（微机电系统）、光电子和传感器。EV GROUP 120是一种极为精确可靠的资产，适合生产多种纳米结构。其先进的光学表、高精度的机动化级和超高精度成像模型能够创建极低缺陷率的复杂特征。这种设备是生产集成电路或其他小型结构的任何组织的宝贵工具。