二手 EVG / EV GROUP 150 #293606734 待售

EVG/EV GROUP 150是半导体工业中用于在晶圆上沉积光敏层的光敏设备。它利用一种基于序列控制过程的专有技术，以非凡的均匀性和精确度创建复杂的抗性结构。光刻胶系统由晶片支架、控制模块、照明模块、光刻池和光刻胶模块五个主要组件组成。晶片支架用于在施加光致抗蚀剂时固定基板。精密加工支架的设计是保持基板稳定，在这个过程中没有打滑。控制模块是单位的大脑。它控制整个光刻胶序列，并通过用户界面（UI）进行编程。它监视抵抗参数和其他过程步骤,以保持一致的模式精度。照明模组是一种大功率光源，用于暴露基板上的光刻胶层。它集成到光刻机中，提供可编程、精确、均匀的光强度和波长范围。Phototool是一种真空机械臂，用于在光刻过程中移动和控制晶片，以及在过程步骤之间移动晶片。光刻胶模组将光刻胶套用到基板上，是光刻胶工具的关键元件。光致抗蚀剂的精确、均匀的应用是过程中最关键的方面，通过控制模块进行控制。EVG 150光抗蚀剂资产在半导体工业中被广泛使用，以创造出精密而均匀的抗蚀剂结构，具有出色的图样精度、可重复性和附着力。该模型可产生具有精确特征尺寸控制和均匀性的复杂、复杂的光刻胶层。此外,设备还提供高精度、高效率和可重复性,从而提高产量和产品质量。