二手 EVG / EV GROUP 150 #293615061 待售

EVG/EV GROUP 150光抗蚀剂设备是一种最先进的光致抗蚀剂开发系统，允许光致抗蚀剂图样快速转移到基板上。它专为商业和半导体应用而设计，并提供精确的抗蚀性涂层和图桉设计所需的高级功能。EVG 150单元结合了涂膜器的柔韧性和步进器的精确度。它具有很高的适应性，因为它能够处理各种抗蚀性厚度、图样间距和基板。该机具有一系列处理能力，包括涂层、内存放置、曝光、开发以及其他后处理步骤。光致抗蚀剂工具配备了独特的Web传输机制和皮带驱动的计量，使其能够快速、均匀地在大面积上创建高质量、均匀的抗蚀剂涂层。资产由三个部分组成：烤箱、转移室和暴露模型.烤箱用于预热基板，以方便抗涂层和图桉。传输室包含Web传输机制，它在基板上增加了一层抗蚀剂。曝光设备将UV光聚焦到抗蚀剂图样上，随后开发这种图样以创建所需的图像。该系统具有许多功能，旨在确保高精度的结果。例如，XY级采用高分辨率编码器设计，允许在基板上精确放置抗蚀剂图桉。软件利用强大的算法和自主模式放置，可以补偿公差和过程变化。此外，该装置还配备了专利模式迭加验证机，利用成像技术评估模式保真度。EV GROUP 150光刻工具是在基板上创建精细图样的强大工具。它可靠易用,提供了创建高质量结果所需的准确性、灵活性和高级功能。