二手 EVG / EV GROUP 150 #293617649 待售
网址复制成功！
单击可缩放
EVG/EV GROUP 150是为光刻应用而设计的光刻设备。这种光刻胶系统设计用于多个行业，包括半导体、电信和医疗设备制造。该单元由处理器模块和基板处理模块两个模块组成。处理器模块旨在提供光刻材料所需的工艺步骤。它包含一个可配置的集成摄像头,可用于工具对齐和记录过程的结果或图像。基板加工模块设计用于固定、运输和处理单个基板,允许统一且可重复的工艺步骤。机器的处理器模块能够控制多个过程步骤,如预暴露和后暴露的抗蚀剂、显影剂、清洁和软烘烤过程。此模块还提供具有自动对焦、自动对准和自动曝光功能的集成视觉工具。该资产还允许对抗蚀剂轮廓进行原位评估，并优化抗蚀剂轮廓和成像参数。基板处理模块设计用于并行处理多个基板和过程。它可以充当内联或批处理过程,具体取决于应用程序。它提供了一系列的基材，如晶片、面板或其他大面积结构，过程的各个部分可以单独调整或监控。它还具有一个弹性传感器，用于测试抗蚀剂轮廓和检测机械缺陷。该型号还提供了广泛的安全措施，如用于紫外线防护的安全屏蔽，以及带有多个传感器和警报的可编程安全例程。此外,它还包含一个诊断例程和一个IV曲线跟踪设备以及一个开放平台,允许集成用户定义的表征例程。总之，EVG 150光刻系统提供了使其适合用于各种工业光刻应用的功能。它是一个可配置和用户友好的光刻装置，具有一系列的过程控制能力和安全措施。该机器可用于包括半导体、电信和医疗设备制造在内的广泛应用。
还没有评论