二手 EVG / EV GROUP 150 #293759601 待售
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ID: 293759601
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Coater / Developer system, 8"
Cassette-to-cassette handling
Cassette station with ergo load mounts
(3) Spin modules:
Bake
Chill
Vapor prime
No manual
2005 vintage.
EVG/EV GROUP 150是一种光阻设备,在单件设备中具有自动口罩对准、曝光和开发后处理功能。它是一种专业工具，用于处理各种应用中的各种不同的光敏材料。该系统有一个内置的光学对准和曝光单元，由多模源、激光对准机和强度控制器组成。该工具还提供了广泛的不同的后开发功能，包括自旋蚀刻、添加剂加工和条带加工。EVG 150设计用于处理多种不同的光敏材料，包括玻璃自旋（SOG）和氟聚合物光敏材料。它旨在实现诸如添加剂蚀刻、成型盲法、差分蚀刻和主基板制造等工艺。该资产能够蚀刻各种厚度,最大蚀刻深度可达1000 nm。EV GROUP 150具有自动遮罩对准模型,在曝光光刻层时提供了更高的准确性和可重复性。面罩安装在精确的机械对准台上,范围可达50 μ m。该设备还具有数字图像采集系统，用于模式识别，确保精确的模式对齐。该单元还提供一系列光刻材料的曝光能力。它具有一系列光源，包括高功率405纳米激光器、工业Ar-ion激光器和紫外线（UV）激光器。它配备了从35 s到35 s μ曝光持续时间，使得各种曝光时间和功率水平都能适应不同的光刻材料。150还提供自动后处理功能。机器配备了自旋处理器，允许在一个步骤中蚀刻各种厚度。它还能够进行添加剂加工，从而能够应用蒸发涂层等特定的材料层。此外，该工具可以提供条带处理，其中光致抗蚀剂被精确地从暴露的区域去除。EVG/EV GROUP 150是各种光刻胶处理应用的理想选择。它能够实现准确、可重复和可靠的结果，并可用于处理任何光敏材料。该资产还得益于大量后处理功能,使其成为高级研发的理想解决方桉。
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