二手 EVG / EV GROUP 150 #293809532 待售

EVG/EV GROUP 150是一款高度先进的光刻设备，设计用于半导体行业的光刻生产。它配备了先进的冷却系统，能够产生高达EVG 150毫米尺寸的高分辨率光掩模。该设备采用液晶显示屏（LCD）触摸屏界面,允许用户以高清清晰度显示图像。该机采用最先进的液晶显示器（LCD）触摸屏界面，提供最佳用户控制和高水平图像分辨率。此外,高解析度HD影像还确保了口罩生产的高精度。该工具能够实现每像素1.2微米的分辨率,该分辨率足够高,可使设备功能尺寸降至0.5微米。该资产配备了真空泵和用于对准和定位基板的舞台。该级还包括晶片卡盘和晶片旋转驱动模型。此外，该设备还包括一个可移动的热板，以帮助基板加热过程并提供整个基板的温度均匀性。光掩模是使用光敏乳剂曝光的，这种乳剂散布在底物上。该系统还配备了先进的快门装置和照明工具，以实现最佳曝光时间和均匀的光输出。然后使用专门的评估机器对光掩码进行评估,以检查是否存在缺陷或不一致之处。EV GROUP 150工具具有出色的后期生产分析资产,用于评估光刻工艺的性能并确保生产水平持续较高。该模型不仅能够分析光刻技术，而且能够分析其他生产工艺。自动化的报告功能使用户能够快速评估其生产结果。150为用户提供了先进光敏系统所需的便利、灵活性和可靠性。凭借其高分辨率和强大的功能,用户可以确保生产一致的高分辨率口罩、高效的生产分析和可靠的操作。