二手 EVG / EV GROUP 150 #293820988 待售
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EVG/EV GROUP 150光抗蚀剂系统是一种前沿设备，旨在提供高精度的抗蚀剂成像和制图结果。它非常适合掩码曝光工作和直接写入类型的应用程序。系统核心部件包括低能准分子激光器、电动投影镜头、真空卡盘，以及多种软硬件模块。EVG 150的激光器波长为248nm，4.6mJ脉冲能量，短载荷周期脉冲长度为40ns。它能够提供功能尺寸小于0.2 µm的微观结构。而且，图样精度在一微米以内。电动投影镜头在30mm-70mm的视场范围内提供高分辨率成像能力。垂直16倍，水平放大10倍，数值孔径0.4。镜头具有手动调节的瞳孔功能,可精确对焦.EV GROUP 150的真空卡盘允许在暴露过程中在没有任何基板应力或机械变形的情况下进行高质量的抗蚀性阵列。其真空卡盘可容纳尺寸不超过4英寸的基板,易于清除,以便进行基板加载、定位和固定夹紧。150由于其先进的软件和硬件组件而产生了最精确的结果。它的软件允许用户交互和控制成像和阵列工具,而其硬件组件则提供高级功能,如自动对焦、成像比较前后、自动阵列和曝光管理以及实时分析。这使用户能够快速调整参数并加快生产时间。EVG/EV GROUP 150光刻系统是半导体光刻、平板显示器、高级封装、微流体等应用的完美解决方桉。它提供出色的光学性能、对成像和阵列参数的精确控制,以及更短的处理时间,对于获得最高质量的结果至关重要。
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