二手 EVG / EV GROUP 150 #9195110 待售
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EVG/EV GROUP 150是一种光敏设备，用于将感光材料层沉积到各种物体的表面上。该系统是一种先进的材料加工工具，用于纳米翅目、三维薄膜和功能涂层的大规模生产。该单元包括两个主要组件：扫描仪和基板级.该扫描仪是一种具有5轴定位和0.8 μ米分辨率的扫描投影显微光刻机。它是用来形成纳米尺度特征的基板位置灵敏和准确。基质级用于安装和对齐标本。它在XZY平面上提供6自由度（DOF）运动，配准标记，也能旋转和旋转标本。一般而言，该工具用于将光刻胶层沉积到基材上。这是通过将基板暴露在紫外线下来完成的。然后开发出光致抗蚀剂，有选择地去除暴露的区域，允许形成所需的图样。曝光和开发的过程重复多次，以达到理想的模式和薄膜。资产还有可用于编程曝光和开发参数如温度、曝光持续时间等的软件。这样可以提高执行复杂进程时的精度。此外,该模型还提供了与其他设备和软件的各种接口和集成功能,从而实现了更高效的设置和工作流程。最后，该设备有各种安全特性，如内置报警和紧急关闭如果任何安全级别被破坏。这确保了所有用户的安全且无错误的操作。总体而言，EVG 150光刻胶系统是一种先进的材料加工工具，使用户能够以高精度和精确度将光刻胶层沉积到基板上。该单元提供了一系列功能和功能,使用户能够安全高效地执行复杂的流程。
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