二手 EVG / EV GROUP 150 #9289394 待售

EVG/EV GROUP 150是一种为晶片级制造而设计的光阻设备。它由一系列不同的模块组成，每个模块都有自己的目的。系统的主要部件包括晶圆站、热板、光源、控制站和环境室。晶圆站允许晶圆的装卸，以及对准和清洗程序。热板用于在曝光过程之前加热基板，而光源则用于在晶圆上创建所需的图样。控制站允许用户调整模式大小、形状和曝光时间等参数，以及监控过程。最后，环境室用于维护整个暴露过程的受控环境。光致抗蚀剂单元可达到高达12英寸的基板，分辨率为1微米。该机器能够进行退火、差分蚀刻和晶圆稀释等各种工艺。它还配备了单发、步进、矩阵等不同的曝光技术。渐逝的照明能力允许生产分辨率高达0.2微米的3维设计。该工具也是用户友好的，可以从遥控器操作。它还有一个内置屏幕，可以方便地监控过程。资产还具有自动监视和警告模型,可报告过程中的任何问题。总之，EVG 150是一种可靠、用户友好的光阻设备，适合晶片级制造。它的分辨率为1微米，可以用各种曝光技术制造多达12英寸的基板。它还配备了自动化的监视和警告系统，以便于操作和监测过程。