二手 EVG / EV GROUP 150 #9396120 待售

EVG/EV GROUP 150是一种光阻设备,其设计目的是在广泛的过程步骤中提供有效、高性能的结果。光致抗蚀剂广泛应用于微电子学和半导体的应用，该系统为实现光刻工艺提供了最新、最可靠的工具。EVG 150具有集成的模块化平台,可快速为各种应用程序重新配置。这个单元提供了全系列的光刻硬件和配件，包括一个I线源，一个能量束，一个照明模块，一个扫描扫描仪，和一个反射光掩模。这些组件设计为协调协作,提供自动化的高性能流程解决方桉。该机还具有高精度元件和一系列高性能选项，如自动对焦、无刷真空级以及先进的图像校正技术。该工具的集成平台还配备了易于使用且功能强大的用户界面,包括图形用户界面（GUI）和文本向导,使用户能够快速轻松地在流程步骤和配置之间进行切换。用户界面还使用户能够访问广泛的特定于产品的存储库并将其集成到资产中,从而更容易采用已开发和测试的流程和配置。该模型还具有一系列特定于流程的功能和监视实用程序,以帮助操作员管理工作流并确保最高质量的结果。这包括通过自动温度控制设备监测和控制固化、干燥、烘烤和剥离等生产过程的能力。此外,为了增强控制和流程连续性,系统还支持针对特定层的流程优化的各种配方。除了其强大的平台外，EV GROUP 150还集成了广泛的与生产相关的监控、视觉、质量控制能力，包括自拍掩码、图像处理、图像恢复、产量监控等。这些功能可确保用户在不影响质量或性能的情况下实现高效、不间断的生产。150提供了端到端解决方桉,可在广泛的光刻胶相关工艺步骤中提供卓越的效果。凭借其创新可靠的组件、集成的平台和强大的用户界面，这个单元可以帮助用户实现快速有效的效果，以满足他们最苛刻的要求。