二手 EVG / EV GROUP 150 #9398332 待售

製造商
EVG / EV GROUP
模型
150
ID: 9398332
Automated spray coating system, parts system With STAUBLI TX90 LCR Robot.
EVG/EV GROUP 150光刻设备是一种工业级微电子光刻系统,旨在以精确和速度蚀刻高性能微电子元件。该单元基于光刻技术,一种用于将错综复杂的形状转移到基板上的技术。EVG 150是一种自动化机器,包括步进/扫描仪单元、自动对焦工具和扫描仪控制器。步进/扫描仪单元是资产的主要组成部分,包含一个带有固定玻璃台的舞台,用于基板放置。它具有高精度显微镜物镜,失真极低,小于5纳米(nm)。这允许精确成像和凋刻所需的微电子电路的精确布局。自动对焦模型是光刻设备的另一个关键组成部分,因为它使用冷却的数码相机将图像精确聚焦到基板上。该系统还可以检测基板上的缺陷,对光刻胶进行实时成像,以确保设备的最佳性能。这是通过计算所使用的光的强度并相应调整自动对焦来完成的。此外,EV GROUP 150利用激光引导的可视化单元来确保刻入基板的图样的准确性。150的设计非常可靠,运行时间大于99.5%。这是由于它具有高度自动化的特性,这使得机器能够在操作干预最少的情况下运行。它还利用先进的工艺优化技术,使设备能够快速确定任何给定应用的最佳参数和设置。此外,该工具采用模块化方法进行设计,允许用户自定义最适合其个人需求的选项和附加组件。总体而言,EVG/EV GROUP 150光刻胶资产是一个令人印象深刻的自动化解决方桉,用于生产高精度、高性能的微电子元件。它提供业界领先的精确度和准确性,并且可以轻松生成高度复杂的设计。EVG 150具有模块化设计、坚固的功能集和业界领先的可靠性,是微电子行业的最佳选择。
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