二手 EVG / EV GROUP 250AV #9200716 待售

EVG/EV GROUP 250AV是为先进光刻技术人员设计的先进光刻设备。该系统能够高精度地创建复杂的结构，使其成为光刻技术的理想工具。该装置采用特殊的真空卡盘和PC控制的电动级，能够在X、Y和Z轴上精确移动。这确保了要处理的晶片或基板的精确定位。这使得机器能够以最小的错误创建复杂和详细的模式。该工具还具有自动晶片对准资产，该资产使用激光垂直参考来检测晶片的位置，并将其正确放置在目标图样上。这对于精确对齐至关重要，并消除了由于不对齐而造成模式不必要失真的可能性。曝光过程由高强度汞灯处理。该灯提供了一种近乎紫外线的光谱，既可用于光刻胶曝光，也可用于干式抗蚀刻。曝光过程的每一个参数，如强度、持续时间和波长，都经过精心控制，内建多曝光配方的内存功能可以保存，以备将来使用。EVG 250AV还采用了电偏置模型来进一步控制暴露过程。这种偏置设备对被暴露的材料施加恒定电压，允许精确调整各种物理特性。这也可用于保温层和化学机械抛光等后处理程序。最后，该系统还配备了能够精确控制环境温度的先进热控单元。这确保了整个基板的准确和均匀的暴露，确保了一致的结果，避免了烧焦或损坏细腻的材料。EV GROUP 250AV光刻机是一种先进、高性能的设备，其设计目的是创造出精确度和质量无与伦比的微观模式。该工具结合了先进的机动化级、自动晶片对准和先进的热控制,能够以卓越的精确度和精确度创建令人难以置信的复杂结构。