二手 EVG / EV GROUP 250AV #9400866 待售

EVG/EV GROUP 250AV是一种光阻设备,用于创建多种应用的微量和纳米结构,包括薄膜电子、医疗技术和光学元件。该系统将防腐涂层、曝光、显影和后处理结合在一个单元中,允许统一且可重复的阵列,而无需多种工具和工艺。EVG 250AV包括一个独特的抗性涂层沉积头，提供高达1 KV的电荷剂量。这头均匀地涂覆基板与光敏材料，通常是光硬化和化学放大光敏的组合。通过控制光致抗蚀剂在基材上的剂量，用户可以达到非常均匀和高分辨率的模式，非常适合设备制造。该机还结合了具有高级设计算法和自动对准功能的光学接口。这种先进的界面使用户能够以卓越的放置精度和均匀性将明确定义的模式转移到基板上。此外，光学界面支持广泛的曝光波长，允许在设备制造中使用先进材料。EV GROUP 250AV包括一个高精度的开发工具,它可以自动将显影剂分配到涂层基板上。这一资产确保了统一和一致的发展，使模式转移具有更高的分辨率和统一性。此外，不同类型的基材可以开发而无需改变配方或硬件。最后，250AV包括一个后处理步骤，使用户能够去除任何多余的光刻胶并提高图样传输质量。这种后处理使用直流电（DC）灰化和等离子体辅助灰化，有选择地从基板表面清除不需要的残留物。此外，用户可以结合后蚀刻等处理，完成模式转移过程。总之，EVG/EV GROUP 250AV光致抗蚀剂模型为用户提供了一个自动、统一的微量和纳米结构阵列解决方桉。该设备可实现高效的模式传输,并具有高分辨率、均匀性和准确性,从而能够制造复杂的设备。