二手 FOXBORO 920M #9033117 待售

FOXBORO 920M设备是一种光刻工艺控制系统，旨在提供对先前暴露于光刻胶表面的表面质量和涂层结构的精确控制。该单元由一个直流电源、辐射源、光电传感器、工艺室、控制单元等几个组件组成。可以对920M台机器进行编程,以从目标厚度、温度和蚀刻速率控制光敏涂层的开发。FOXBORO 920M的直流电源通常用于传输涂在基板上的感光材料。为了使控制水平最大化，对电源进行调节，以在整个过程周期中保持一致的功率或电流水平。辐射源用于产生光刻胶和基板所需波长的光束或辐射。然后将该光束指向光电传感器,以监视涂层。920M工艺室的设计旨在为光敏材料和基材的加工提供高度受控的环境。腔室通常充满惰性气体或真空，以减少氧气和其他污染物对基板的影响。此外，腔室通过温度和湿度的控制，在整个过程中保持一致的环境。一旦腔室加载，涂层暴露于辐射源，光电传感器在涂层进行过程中测量涂层。FOXBORO 920M的控制单元为用户提供了调整光刻涂层参数的能力。用户可以调整过程时间、曝光时间、温度、湿度、电流和电压。此外，控制单元允许跟踪涂层在发展过程中的进展，并由光电传感器进行监控。该控制单元还提供了对涂层工艺进行详细分析的能力，可用于进一步优化光敏涂层。总体而言,920M提供了一个优秀的光刻涂层工艺控制工具.它旨在从头到尾对涂层工艺进行精确、自动化的控制。FOXBORO 920M可用于控制光敏涂层的发展到目标厚度、温度和蚀刻速率。该资产还允许对涂层工艺进行详细的监控和优化。