二手 FSI EXCALIBUR #112368 待售
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ID: 112368
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Anhydrous HF vapor cleaner, 8"
Model number: 901498-301
ISR System
PACIFIC SCIENTIFIC 2VM2 Motor
(2) Stations
Hard drive: Missing
1995 vintage.
FSI EXCALIBUR是专门为先进的光掩模开发过程而设计的光阻设备。它生产的光掩模具有精确度和精确度以及增强的分辨率。开发EXCALIBUR系统是为了满足不断发展的半导体工业的需要，使光掩模的生产达到尽可能高的水平。FSI EXCALIBUR单元能够提供精确和精确的光掩模生产.该机利用多个分配、照明和扫描阶段，最多15个小部件分配头和多个照明系统。EXCALIBUR工具的精确度使得能够创建特征尺寸极小、精度高的光掩码。该资产还为用户提供了通过设置曝光、扫描速度和重复次数而无需手动干预来优化流程的能力。这有助于提高速度和分辨率,同时允许用户最小化错误。FSI EXCALIBUR还结合了光刻工艺证明的先进图像处理技术。与标准的光致抗蚀剂方法相比，这与较高的分配能力相结合，可产生更高的分辨率和透明度。该模型的用户友好界面允许用户在表单操作和设置处理配方之间快速、轻松地进行切换。此外，FS EXCALIBUR设备还允许用户对其进行编程，以进行高度自动化的处理。这样可确保更好地控制零件和制造过程,并提高可重复性和吞吐量。FSI EXCALIBUR是一个理想的解决方桉，用于需要高精度和高分辨率的半导体公司的光掩模生产与自动化系统的便利。它旨在降低成本、优化操作和提高整体光掩模质量。EXCALIBUR凭借其高精度的分配、照明和扫描阶段，生产出精确度和分辨率都超过所有预期的光掩模。
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