二手 FSI EXCALIBUR #293759461 待售

FSI EXCALIBUR是设计用于生产高性能集成电路的光刻设备。该系统具有出色的微观分辨率、控制和一致性。它包括精密的软件,能够控制薄膜涂层、摄影、分辨率和曝光能力。此单元非常适合生产独占性能集成电路,因为它能够生产更高分辨率、更小、更高效的电路。EXCALIBUR利用光刻工艺称为喷涂方式。该工艺用于将薄膜层转移到基板上，该基板由薄膜层、抗反射涂层和正光致抗蚀剂组成。这层薄膜由二氧化硅、二氧化钛和有机物的溷合物组成，在光学透明的基板上形成稳定的涂层。这种防反射涂层优化了薄膜，非常适合更高分辨率的成像，并且可以防止污染或环境影响。最后一层是光致抗蚀剂，作为薄膜层的"掩模"。这种光刻胶保护薄膜免受光刻过程中使用的紫外线的影响。成像过程从投影仪中使用635nm或355nm激光开始。这种激光投射需要暴露在薄膜层上的几何形状。然后，这些几何形状会暴露在光线下，并开始与光刻胶发生反应。进一步发展后，未曝光的光刻胶区域变得透明，而暴露的抗蚀剂则保持不透明。这被称为积极抵抗发展。下一步是蚀刻过程，将所需的图桉蚀刻到基材中。这包括切碎基材，涂抹蚀刻面膜，并将其浸入化学浴。这种蚀刻工艺需要精确度和精确度，因为光刻胶已被激光照射降低。蚀刻后，由于暴露于蚀刻物中，薄膜层必须移除。这是通过一个叫做ashing或烧掉薄膜层的过程来完成的。Ashing process is completed with a software controlled beven.这个烤箱将在设定的温度下运行，产生一股薄膜气体。当薄膜层在基板上不再可见时,灰化过程即完成。最后，进行清洁过程，从基板上除去剩余的光致抗蚀剂。这通常涉及使用碱性溶液，或化学和机械清洁技术的组合。基板清洗干燥后，集成电路准备好进行最后检查。FSI EXCALIBUR是生产专属性能集成电路的理想机器。其精确一致的光刻工艺保证了芯片中几何形状的高分辨率。EXCALIBUR结合其抗反射涂层、光致抗蚀剂、灰泥和清洗工艺，是生产高性能集成电路的绝佳解决方桉。