二手 FSI EXCALIBUR #293759465 待售

FSI EXCALIBUR是一种光刻设备，用于创建单片器件、超细电路图样和高精度结构尺寸。该系统结合使用光掩码、抗蚀剂和激光处理，以产生所需的结果。光致抗蚀剂单元使用液体光致抗蚀剂，然后将其暴露在紫外线下。这就产生了一个有图样的抵抗膜。该膜由激光机和扫描台进一步加工，用于过程中的成像、电气分析和表面地形。激光工具可用于精密烧蚀，也可用于切割抗蚀剂膜中的蚀刻线。然后,可以删除抗蚀剂以创建所需的阵列。资产的光掩模是一块平板，上面放置了所需的电路或结构图样。然后将这种图样暴露于液态光致抗蚀剂中。然后利用激光模型将所需的图样投射到抗蚀膜中，然后将图样蚀刻到抗蚀膜中。该设备还用于通过计算机控制的系统监测和控制蚀刻过程。这样可以确保结果的准确性,并确保开发的设备的最高精度级别。此外，该单元还配备了用于3D成像和数据分析的内置软件，提供详细的过程后分析能力。总体而言，EXCALIBUR是一种光刻机，它提供了一种简单但高度精确的设备结构创建方法。它使用光掩模、抗蚀膜和激光处理产生极精确的结构，精确度很高。其3D成像和数据分析功能保证了准确的结果,非常适合创建高精度设备和超精细电路模式。