二手 FSI EXCALIBUR #293818919 待售

FSI EXCALIBUR是一种设计用于电子电路制造过程的光阻设备。它由光刻胶曝光机和光刻胶加工站组成。在光刻中，光致抗蚀剂层用于将电路图样从掩模传递到半导体晶圆上。光致抗蚀剂是一种光敏材料，因此为了产生所需的结果，光必须精确地定向到光致抗蚀剂层上。EXCALIBUR是为此目的而设计的系统，提供高质量电路模式所需的精确曝光。它能够将图像投影到分辨率高达2,048微米的光敏层上。这使得实现极微小特征的生产成为可能，直到亚微米范围。它有一个先进的直接成像曝光途径，包括一个三联体显微镜物镜和镜子。这提供了光刻胶层的连续、均匀的曝光，允许将光刻技术整合到亚微米设计中。FSI EXCALIBUR提供了广泛的特性和功能，包括自动对准单元，确保晶片在曝光机上的最佳放置。它还提供了集成跟踪、预对齐、后对齐和迭加映射。这样就可以预先匹配模式的每一层,并且特别适合大容量、大规模的过程。此外，EXCALIBUR机附有光刻胶加工站，用于在光刻胶曝光后仔细处理。它提供了一种自动化的可调光刻处理算法，旨在减少处理时间和成本，同时最大限度地提高电路产量。该站还集成了热和真空控制系统，以及动态掩模检测工具，确保每一层一直暴露在外。FSI EXCALIBUR是精密电路设计和多层生产的理想选择，允许对电路特性进行微调和控制，以达到最高质量的效果。它是制造操作员的绝佳选择，因为它有助于高效和可靠的光刻工艺，有助于减少时间和成本，并最大限度地提高产量。