二手 FSI MERCURY MP #9189482 待售

FSI MERCURY MP是一款光刻设备，提供无与伦比的高清光刻能力，用于在半导体、MEMS和其他精密元件上创建微尺度和纳米尺度图桉。MERCURY MP旨在为用户提供高分辨率和准确的结果，同时提供市场上最高的吞吐量和稳定性，最终带来优越的产量和成本节约。FSI MERCURY MP利用独特的光学成像系统,包括一种特殊的无掩码扫描技术,该技术可以将图像从数字单层掩码投射到晶片上,而无需制作光掩码。这种无掩码扫描装置由于精确的对准精度和可重复性，保持了可达到的最高分辨率。此外，MERCURY MP采用先进的现场计量能力来精确测量模式和控制迭加精度。该机还配备了先进的液体冷却工具，在运行过程中进行最佳的热管理，从而确保了市场上最高的图像稳定性和均匀性。FSI MERCURY MP还使用专有的机器人方法进行涂层和剥离操作,使光刻胶处理工作流程从自旋涂层自动化到成像和剥离,并采用最少的干预措施。机器人解决方桉有助于提高资产的吞吐量和过程一致性,并减少光刻胶消耗。虽然MERCURY MP是为工业生产而设计的，但其精密的设计也允许它用于研发目的。它能够在一系列高级标线之间切换,这有助于满足复杂的流程要求,并且可以扩展和重新配置模型以集成其他工具和标线。综上所述，FSI MERCURY MP是一个强大而高效的设备，提供无与伦比的光刻能力，用于严格的微量和纳米级模式。该系统具有卓越的精确度和精确度,提供了最高的吞吐量和图像均匀性,以及高级机器人功能,旨在优化效率和减少光刻胶消耗。