二手 FSI SATURN OC #293592650 待售

FSI SATURN OC是一款开创性的193纳米（nm）暴露工具，用于干性抗蚀剂的开发、化学放大光致抗蚀剂和抗蚀性边缘轮廓优化。SATURN OC使原始设备制造商（OEM）能够为芯片设计师提供将光刻工具性能提高到超出理论衍射极限的能力,同时提供无与伦比的可重复性。FSI SATURN OC具有集成的6英寸曝光场，提供6.5英寸、5.5英寸、4.5英寸的曝光场大小，以及定制的可配置线路/空间模式。曝光场提供亚埃线宽和可重复的边缘到边缘均匀性染料和化学扩增抵抗。SATURN OC具有光学系统性能优势。能量控制和暴露的均匀性使亚埃线宽可用于密集的图样。创新的光学优化工具使CHA抗蚀剂的边缘对比度得到快速优化，并改善了染料的对比度、间距和窗口图样。FSI SATURN OC有一个用于精确剂量和聚焦监测的原位监视器，其主动光学监视器保证攻击性工艺条件，使攻击性RECOnode级迭加精度。光刻工艺匹配与现有的193nm制造面料一致，光学性能极易重复。SATURN OC的腔室设计也将光阻驻波效应和非均匀性降至最低。FSI SATURN OC是一种强大的芯片设计和工艺新工具，具有积极的设备缩放和突破衍射光刻的极限。SATURN OC系统的先进功能保证了超稳定的大衣程序和纳米级的可重复性，同时提供了增强的光学性能。FSI SATURN OC凭借其出色的光学系统可靠性和集成测试与优化能力,成为OEM和半导体制造商的理想选择。