二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 2134N #9109608 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N是一种用于制造微电子元件的光刻设备。该系统是一个先进的单元，具有集成的过程控制，高分辨率和精密成像，以及自动化基板处理解决方桉。FSI 2134N利用先进的成像技术提供高分辨率和精确成像。这使得设备的光刻胶层能够准确快速地曝光。此外,该机器还包括高级功能,如使用直接激光写入的激光工具、用于精确统一控制的曝光控制资产,以及支持快速响应的高速累积模型。TEL 2134N还具有集成过程控制功能。这包括一个创新的原位激光干涉仪，可以精确测量临界尺寸。此外，该设备还包括一个自动化的基板处理系统，方便基板的装卸，以及一个全自动的设置和操作过程。2134N提供了高精度和精确控制生产的光刻装置制造过程中。该机具有控制曝光和蚀刻过程的一系列选项，包括剂量、曝光时间、蚀刻速率、聚焦深度、基板温度和蚀刻压力等各种参数。此外,集成的过程控制还可以提高过程的可重复性和产量。此外,TOKYO ELECTRON 2134N可以配置一系列自动化选项。这包括各种自动化基板处理解决方桉、自动化校准单元以及全自动设置和操作过程。总体而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N提供了先进的成像技术、集成的过程控制、自动基板处理解决方桉,以及在光刻工具制造过程中对生产的精确控制。这使用户能够获得高度准确和可重复的生产结果。