二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 8221 #9119346 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 8221是一种开发用于半导体晶片生产的光刻胶设备。它是一个全自动系统，在使用薄膜沉积技术制造设备的过程中提供基板预热和抗蚀层的处理。FSI 8221单元可加工直径达8英寸的基板，工艺窗口为120°C至200 °C。它有一个独特的加热机器，能够统一的温度控制，并确保过程的一致性和可重复性。它配备了两个辐射源----一个最高2 J/cm ²的氙气闪光灯和一个最高400 mJ/cm ²剂量的氙气激光器。该工具配有波长可选择的石英光学组件和可变反射镜以调整光束轮廓。TEL 8221光刻胶资产可用于单层、多层和双层处理。它有一个精确的方法来控制工艺参数，并确保出色的分散和分辨率的抗蚀层。可选择多组分抗蚀剂配方，从半耐用系统到高耐用系统，以及成功加工所需的所有一次性用品。此外，该模型还采用了先进的计量和检查工具，如视场显微镜、粒子密度测量和电阻率测量。这些技术可用于评估抗蚀层在其预期寿命内的性能,以确保过程和产品的一致性。为了保证其基板的最高产量，8221光敏设备的用户受益于最先进的工艺控制和监测功能。全彩色交互式用户界面为参数设置、设备调整和组件评估提供了简单直观的工作流程。总之，TOKYO ELECTRON 8221是一种高性能的光刻胶系统，旨在保证半导体晶片生产的最高产率。它提供了一个集成的加热单元，精确的过程控制和先进的计量和检验工具，以确保产品质量的最佳。