二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #293700892 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005设备是为先进的光刻图样制作工艺而设计的光刻加工系统。该单元的组件包括自旋处理器、成像室和光刻胶输送机。自旋处理器负责用光刻材料均匀地涂覆基板。自旋处理器采用直接驱动技术,可以精确控制处理器的速度。自旋处理器还分配了基材所需的光敏材料量，可以针对不同的工艺应用进行调整。成像室负责为基板暴露于光提供受控环境。该腔室配有运动控制工具，可微调舞台运动以实现图像分辨率。腔室还有一个内置的闪光源来照亮基板。光刻胶输送资产负责向自旋处理器提供一致的光刻胶材料供应。该模型具有滤光片设备，用于净化光敏材料和防止污染。FSI 915597-005系统设计为提供高度精确的光敏沉积过程。利用其直接驱动技术和运动控制单元，可以提供低工艺变化的基板覆盖。这台机器还能够减少由非均匀层厚度引起的线形变化。此外,闪光源还可以提供均匀的基板照明,从而获得更高的分辨率.总体而言，TEL 91597-005工具是一种先进的光刻胶加工资产，提供高度精确的光刻胶沉积工艺。该设备的自旋处理器、成像室和光刻胶输送模型协同工作，提供准确一致的基板覆盖。该系统能够减少线条尺寸的变化，并且能够提供均匀的基板曝光以获得更高的分辨率。