二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360974 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005是一种光刻设备，设计用于集成电路（IC）制造中晶圆加工的精密蚀刻。该系统基于一个由间隔的、独立的灯室阵列组成的光束驱动单元。该机采用智能自动关卡（IAL）、自动曝光输出（AEO）、高分辨率机（HRS）等先进专利技术。IAL工具对光刻胶层的光密度进行测量，然后能够将IC器件布局图样的反应与最合适的曝光条件相匹配。IAL提供了可靠的步骤和重复光刻以及对任何环境条件的调整,以确保超高分辨率模式期间的稳定性,即使存在一些光照水平差异。AEO资产在向光刻胶传输复杂图样时确保可靠的性能。它在照明过程中提供精确的控制和光照持续时间,并将其转移到IC设计中。为了保证精度，本机还考虑了光照强度的多少、曝光范围的宽度以及光沿处理区域的均匀性等因素。HRS功能提高了光阻处理精度,从而可以创建超高分辨率布局模式。它的设计结合了数字控制和信号处理，以纠正高速曝光可能发生的任何不规则性，以保持最高精度。这样可以确保在蚀刻过程中可以准确地复制投影和图桉,从而防止任何质量损失。FSI 915597-005光刻胶模型的设计目的是提供高性能的结果,其精度达到最佳行业标准。它结合了智能自动电平、自动曝光输出和高分辨率设备,是在集成电路制造中创建逼真的设计和蚀刻模式的理想解决方桉。