二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360975 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005光刻设备是一种光刻系统，旨在能够在半导体晶片和其他基板上产生非常复杂的微结构。该单元的设计可提供快速、精确和可重复的图样成像,包括各种掩模尺寸。它提供高达每秒五帧的曝光速度、所有可用光刻机中最高的分辨率以及精确的曝光控制。该工具包括一个4英寸步进光掩模,其设计目的是在尺寸不超过6英寸的基板上提供精确且可重复的成像模式。它具有高度敏感的薄膜,能够从掩模中精确捕获图样,从而提高曝光效果和高度可重复的图样。该资产还具有集成的薄膜进纸器和处理模型,允许在曝光之间轻松设置和清理。设备还包括一整套成像工具，以定制系统性能。这些工具包括自动快门控制、自动对准和焦点控制，以及可编程晶圆处理软件。此外,该单元还包括曝光控制软件,用户可以轻松调整和定制曝光参数,并在成像过程中监控结果。最后,该机器包括成像光学器件阵列,可提供各种尺寸和配置的基板的增强成像。这包括可变焦距镜头，取决于基板的大小和图样的分辨率。成像光学也可以定制，为更复杂的图样提供特殊效果，如可变深度成像、半色调成像和更高对比度成像。总体而言，FSI 915597-005光致抗蚀剂工具是半导体晶片和其他基材的高分辨率、可重复、通用成像和处理的绝佳选择。其高精度的曝光控制、成像工具和最先进的光学器件,在生产复杂的微观结构时允许灵活性和定制。