二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9408657 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005是一款专为光掩模图样应用而设计的光刻设备。它由Stepper/Aligner 915597型和Exposure Unit 915596型组成。Stepper/Aligner是一个高精度、高速的阵列系统,用于在高达12.7 x 12.7英寸（320 mm x 320mm）的大型光掩模上进行细线、高密度的3维成像。它具有较大的字段大小,X/Y坐标各高达+-9.8英寸,最大速度为4000 x 4000um/sec。该单元的曝光单元最多可提供3个EV,并可以通过线性、分割和跳跃多层图样精确曝光光掩模。它提供了6英寸DUV灯的串联标线处理的高级性能,增强了校准和测量功能,并提供了精确的模式传输精度的高级模式验证。这台机器配备了全自动湿法和干法工艺，结合了高速扫描和先进的软件功能，以提高吞吐量、灵活性和易用性。该工具特别适合于生产环境，以紧密的均匀性和精确的迭加精度提供过程控制。它还能够同时曝光8英寸的光掩模。步进/对齐器和曝光单元的组合为具有紧密线宽和最小临界尺寸的成像提供了改进的输出。该资产还配备了安装在步进/对齐器上的线圈透镜，可提供高数值孔径（NA）成像和低失真。总体而言,FSI 915597-005光刻胶模型旨在为光掩模阵列制作过程提供业界领先的准确性、分辨率、吞吐量和可重复性。它在整个生产过程中提供可重复、经济高效的映像。该设备旨在满足包括半导体、微电子、掩模生产和研发实验室在内的众多客户的需求。